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刮边洗濯一体机/磨边洗濯一体机/扫边洗濯一体机

次要用处:研磨晶圆边沿因镀膜工艺中形成的粘连导电物质,以及晶圆切割工艺中形成的边沿外表凹陷部位,以制止因晶圆平整度欠安,而在后道下腊、研磨等工艺中发生晶圆破片、暗裂等不良征象,并将研磨完成的晶圆举行冲洗和吹干,利便后道工序的间接利用。
次要功效:主动上下料、刮边、洗濯、吹干。
次要特点及上风:破片率低、设置装备摆设精度高。