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划裂后二流体洗濯机

次要用处:
洗濯划裂后晶圆,洗濯完成后同槽体内举行甩干及吹干

次要功效:
1.主动上料(卡塞来料)
2.滴药液
3.洗擦
4.二流体洗濯
5.甩干+吹干
6.主动下料(入卡塞)
7.消费配方可创建可选