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芯片洗濯机（子母环）
次要功效：1.主动滴药液（5%MaOH)，药液流量可调
###静置，工夫可设
###二流体洗濯，流量压力可调
###甩干及吹干（速率可调）
###MES通讯
次要上风: 1.洗濯后无药液残留
###洗濯后无残胶
###静置，工夫可设
###二流体洗濯，流量压力可调
###甩干及吹干（速率可调）
###MES通讯
次要上风: 1.洗濯后无药液残留
###洗濯后无残胶
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